我國芯片製造重大突破

離子注入機國產化

【本報綜合報道】據中新社、香港中通社十七日電：中國電子科技集團十七日公佈，旗下子集團攻克“卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至廿八納米。

突破“卡脖子”技術

中國電科介紹說，離子注入機是芯片製造中的關鍵裝備。電科裝備連續突破大流強長壽命高品質離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”關鍵技術，自主研製出中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至廿八納米，已累計形成核心發明專利四百一十三項，實現中國芯片製造領域全譜系離子注入機自主創新發展，將有效緩解中國芯片製造領域斷鏈、短鏈難題。

離子注入指的是將單晶矽改性成需要的半導體類型，因為半導體對離子濃度非常敏感，所以離子注入數量精度要求很高，需要專用的設備和材料。據報道，中國電子科技集團的技術突破，為中國芯片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業離子注入機提供一站式解決方案。

電科裝備瞄準高端

受行業好消息刺激，在香港上市的中芯國際當天股價由跌轉漲，收盤漲超百分之二。

中國電科表示，下一步，電科裝備將瞄準高端，緊跟先進工藝發展，加快推進適用於更先進工藝節點離子注入機的研發及產業化。

據了解，中國電科是中國軍工電子主力軍、網信事業“國家隊”、國家戰略科技力量，擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系。目前，中國電科旗下包括四十七家國家級研究院所、十一家上市公司在內的企事業單位五百餘家，員工二十餘萬名，並擁有卅五個國家級重點實驗室、研究中心和創新中心。

全球面臨芯片短缺

美國對中國進行技術封殺，其中芯片製造環節是中國最嚴重的“卡脖子”問題，中國通信公司華為、中芯等企業均受到影響。為避免受到美國技術禁運的影響，中國去年的電腦芯片和芯片製造設備進口量均大幅增長，進口額比前年增兩成。同時，中國各地也出台相關政策推動當地半導體行業的發展。

三月十七日，中國半導體行業協會理事長周子學在上海國際半導體展覽會上表示，二○二○年中國芯片產業銷售額增長百分之十七點八，達到八千九百一十一億元人民幣。對於全球面臨芯片短缺問題，周子學形容是“史無前例”。